可定制靶材规格：圆靶（圆弧靶）（直径<1000mm，厚度>1mm），板靶(长*宽*高 不限），

                          管靶（外直径<420mm,壁厚>6mm,长度<6000mm）

材料纯度：>99.995%

金属杂质含量：（Al/Fe/Ca/Mg/Co/Ni/Cr/Mn/Ti/Na/K//P/W/Mo/Zn/Sn）：<10ppm

平整度（TIR）:<20μm

局部平整度（STIR）:<10μm

翘曲度（Warp）:<50μm