常用靶材规格：φ100×40，φ100×45，φ95×45，φ90×40，φ80×50等

可定制靶材规格：圆靶（直径φ1"-φ14"，厚度0.5-15mm），板靶(长<500mm*宽<500mm*高<25mm），

                          管靶（外直径φ3.0mm-φ300mm,内直径φ2.0mm-280mm）

材料纯度：>99.995%

金属杂质含量：（Al/Fe/Ca/Mg/Cu/Co/Ni/Cr/Mn/Si/Na/K//P/W/Mo/Zn/Sn）：<10ppm

平面度（TIR）:<20μm

局部平整度（STIR）:<10μm

翘曲度（Warp）:<50μm