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可定制靶材规格:圆靶(直径φ1"-φ14",厚度0.5-15mm),板靶(长<500mm,宽<500mm,高<25mm),
管靶(外直径φ3.0mm-φ300mm,内直径φ2.0mm-280mm)
材料纯度:>99.995%
金属杂质含量:(Al/Fe/Ca/Mg/Cu/Co/Ni/Ti/Mn/Si/Na/K//P/W/Mo/Zn/Sn):<10ppm
平整度(TIR):<20μm
局部平整度(STIR):<10μm
翘曲度(Warp):<50μm